西安橡膠空氣彈簧的剛度

彈性空氣彈簧的剛度設(shè)為k，隔振系統(tǒng)的阻尼系數(shù)為c，彈簧下的基礎(chǔ)為剛性基礎(chǔ)，彈簧隔振器的動力學(xué)模型。它代表了壓印光刻機(jī)連接到橡膠空氣彈簧并固定在剛性基礎(chǔ)上的隔振問題。對于外部運動位移xs振源的激勵，橡膠空氣彈簧起隔振作用。

實際隔振系統(tǒng)的質(zhì)量m由壓印光刻機(jī)、大理石板、粘彈性阻尼材料、水泥地基連接鋼板、空氣彈簧等組成。系統(tǒng)阻尼大，故設(shè)置隔離5Hz以上的振動位移干擾。為滿足隔振系統(tǒng)的固有頻率fn=1Hz的要求，對空氣彈簧剛度和系統(tǒng)固有頻率進(jìn)行了選取，必須對其剛度進(jìn)行選取。考慮到簡便易行，暫不考慮阻尼的影響，所以隔振系統(tǒng)的固有頻率?？諝鈴椈蓞?shù)估計隔振系統(tǒng)的固有頻率0.6Hz小于1Hz，結(jié)果滿足設(shè)計要求。

通過對實際隔振系統(tǒng)進(jìn)行振動試驗，得到自由振動幅值衰減曲線。根據(jù)隔振系統(tǒng)的時域自由振動曲線，通過頻譜分析可以得到隔振系統(tǒng)的頻譜特性，基頻為0.8Hz，滿足小于1Hz的要求，實驗結(jié)果與理論估計0.6Hz非常接近，說明理論估計是可靠的。空氣彈簧隔振器可以滿足低頻隔振的要求。隔振設(shè)計理論分析結(jié)果與實測結(jié)果基本一致，表明了理論分析的正確性。該工作對實際工程問題具有參考價值。