1、內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒(méi)有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，但是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械空氣彈簧的抽速明顯偏低、真空計(jì)示值低、機(jī)械空氣彈簧油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無(wú)濕潤(rùn)點(diǎn)，濕潤(rùn)處就是漏點(diǎn)。
2、小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來(lái)檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再?lài)娚洹Ｗ詈檬欠磸?fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)。
3、較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。